落下塵の常時監視モニター『APMON』

品質や信頼性に影響する落ちる粗大粒子
「落下粒子」を見逃すな

≫ ゴミ不良の原因になる"粗大粒子"はいつ付くの？

　

  • パーティクルカウンターでモニターしているけど、製品不良と相関が取れない。
  • 落下塵をサンプルして定期的に測定しているけど、いつ付着したか分からない。
  • 製品へ異物がいつ付着するのか調べたい。

そんなお悩みにお答えします!!

 

コンタミ監視・落下粒子パーティクルモニタ

日本上陸 「APMON」 　

最先端のクリーンルームテクノロジー「落下粒子」による付着異物を常時監視します。
- クリーンルームアワード受賞／オランダ応用科学研究機構(TNO)開発

 動画はこちらから

レーザーホログラフィック方式採用　　

落下して付着する15μmから1mmまでの粒子を計測。吸引せずに、現場の状況をそのまま測定します。

リアルタイムで測定(最短5分間隔)　　

落下してくる粒子をカートリッジで捕捉し、リアルタイムで測定します。

知りたかった粒径分布も簡単にグラフ化　

堆積した累計をグラフで表示することができます。100μm以上の落下粒子が増えたときは、清掃をするタイミング。

落下粒子率とは？　　　

15-1000μmまでの粒径毎の粒子数をリアルタイムに計数するだけでなく、一定時間の堆積数を算出することができます。  
PDR=粒子数(N:Dμm/面積(1d㎡)/時間(1H))

ラインナップ

  


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