クリーン環境を常時管理『パーティクルモニター』

異物管理でお悩みのお客様
クリーンルームの環境をネットワークで常時管理できます!

ー　現在受注停止中　ー

こんなお悩みございませんか?
  • 異物管理をしたいけど何を使ったら良いか分からない。
  • パーティクルカウンターを使用しているけれど、測定に時間が掛かる
  • 測定したい場所まで行くのが大変
  • データ推移を取るのが大変

こんなお悩みは多点連続モニタリングで一挙解決!

パーティクルに絞った簡易システムを安価に実現し、一度に複数箇所を同時にモニタリング。
24時間連続測定ができ、データ管理が可能です。

 パーティクルモニターはレーザー光源を使用し、製造環境の微小な浮遊異物を捉える測定器です。
不良現象と浮遊異物の異常値を確認することで、不良原因の追跡調査が容易になります。 

特　長

  • 機器組込可能なコンパクト形状
  • 3つのパーティクル計測モード
    ① センサーモード(パーティクル検出毎にパルスを出力)
    ② カウンターモード(一定時間のパーティクルを計数)
    ③ モニターモード(パーティクル密度の時間推移を測定)
  • PC、PLCでデータ取り込み、処理が可能
  • サポートソフトウェア(PM_Util)を標準添付

用　途

  • プロセス装置内部の雰囲気管理
  • クリーンブースの清掃度管理
  • クリーンルーム内の清掃度監視
  • ロボット等の搬送装置での測定

ー現在受注停止中ー

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商品情報｜生産環境クリーン化

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