付着ダストの調査に!　『落下塵カウンター』 塗装・洗浄・生産環境のクリーン化のことならNCC

「粗大粒子カウンター」とは全く別の測定装置です。

浮遊塵ではなく付着塵を測定できる特殊測定機。
10μm以上の粗大粒子を分級しカウントします!

こんなことでお悩みではありませんか?

• クリーンルームで作業しているのに異物付着が減らない。
• パーティクルカウンターで管理しているが不良との相関が取れない。
• クリーン環境を作りたいが管理の仕方が分からない。
• ウエアなどからの付着異物の持込対策で苦労している。

粗大粒子対策(10μm以上)を目的としたクリーン環境構築、ゴミ異物対策の指標として落下塵の計測は非常に有効です。

2021年2月に制定されたISO14644-17に記載されているPDRとPDRLとの関係については こちら

ISO14644-9（表面清浄度規格）に準拠。付着ダストの調査に「落下塵カウンター」は こちら

 

　

 

落下塵カウンターとは

浮遊塵ではなく、落下した塵を測定できる特殊測定機です。10μm以上の粗大粒子を分級し、カウントします。クリーンルーム内で製品に付着し、ゴミ・異物不良の原因となる粒子の多くは落下塵で、非常にゆっくりと落下してきて堆積していくという特徴があります。

落下塵カウンターは、試料収集板(4インチシリコンウェハ)を使用し、その上に落下してきたダストを分級し、カウントする装置です。測定結果はパソコンに表示・保存することができます。シリコンウエハでサンプリングするため、ウエハを置くことができればどこでも評価ができます。

※シリコンウエハとは・・・半導体の基板で、表面の平坦性、耐熱性に優れた円盤状のサンプル板。

 シリコンウエハでサンプルし、10μm～100μmの粗大粒子の分級とカウントに特化した測定装置です。
100μｍ以上の粒子は形状や重さの影響でシリコンウエハでのサンプルは不向きです。
その様な時は「ダスカー」を試し下さい。

 

 

 

落下塵カウンターのラインナップ

	DTSP10-02	DTSP10-03
最小可測粒経	10μm	10μm
粒径区分	10μm、30μm 50μm、100μm	10μm、30μm 50μm、100μm 11～99μmの範囲で数値を任意で設定可能 *3）
対応ウエハサイズ	4インチ	4インチ	2インチ *4）
最大測定エリア	Ф80mm	Ф80mm	Ф30mm
トリミング機能	有り	有り	無し
表示切替	無し	有り（区分表示可能）

*3）任意区分で設定した閾値は、検量線から求めた値であり、計数効率の保証はできません。
*4）計数効率は4インチエリアのみ保証、エリア限定している2インチの場合は計数効率の保証ができません。　

 

DTSP10-02	DTSP10-03

 

◎まずはお試し下さい!落下塵カウンターレンタル

気軽に試してみませんか？「落下塵カウンター レンタルサービス」

粗大粒子測定を気軽に！「落下塵カウンター 測定サービス」

カタログダウンロードはこちらから。 イプロスNCCサイト

仕様書ダウンロードはこちらから。 イプロスNCCサイト

 

こんなお困りごとも解決!! 　◆ 粘着シートでサンプリングして、顕微鏡で目視カウントしているが測定効率が 　　 悪く、時間が掛かる。 　◆ 装置内で付着する塵埃を調べたいが良い測定方法が見つからない。 　◆ 保管エリア内や高温のオーブン内、動作中のコンベアなどのゴミ付着の調査を 　　 したいが、良い測定方法が分からない。 　　2インチウエハ(直径50mm)を使うことで4インチウエハ(直径100mm)では 　　サンプリングができない装置内などの狭い場所も調査が可能です。 　　専用のフォルダーとウエハを準備するだけでご利用可能です。 　落下塵カウンターの設置環境はクリーンブースかクリーンベンチをご用意下さい。 　クラス100程度のクリーン環境に設置することで、測定時やウエハクリーニング時の 　ゴミ付着によるデータの信頼性低下を防止できます。 　ウエハはクリーニング治具を使ってクリーニングすることで何度も再利用ができます。

 

 ◎その他にこんな使い方もできます 

• スタンプテストで手袋やウエアの付着汚れを調査することができます。
• 保管中や搬送中など従来見落としていた工程での付着ゴミを調査。
• 乾燥工程や加熱工程、成膜装置などの炉内や真空チャンバー等の人が入っていけず、測定が難しい環境での調査も可能です。
• エアガンやワイパーでの除去率、除電の有無での付着し難さなど差分を使ってデータを取ることができます。 

見える化機器の活用方法について ⇒ 『見える化で塗装品質向上』

 

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